等離子清洗機(jī)真空泵是用各種方法在某一封閉空間中產(chǎn)生、改善和維持真空的裝置。真空泵可以定義為：利用機(jī)械、物理、化學(xué)或物理化學(xué)的方法對(duì)被抽容器進(jìn)行抽氣而獲得真空的器件或設(shè)備。隨著真空應(yīng)用的發(fā)展，真空泵的種類(lèi)已發(fā)展了很多種，其抽速?gòu)拿棵肓泓c(diǎn)幾升到每秒幾十萬(wàn)、數(shù)百萬(wàn)升。按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分為兩種類(lèi)型，即氣體傳輸泵和氣體捕集泵。
 

　　隨著真空應(yīng)用技術(shù)在生產(chǎn)和科學(xué)研究領(lǐng)域中對(duì)其應(yīng)用壓強(qiáng)范圍的要求越來(lái)越寬，大多需要由幾種真空泵組成真空抽氣系統(tǒng)共同抽氣后才能滿(mǎn)足生產(chǎn)和科學(xué)研究過(guò)程的要求，由于真空應(yīng)用部門(mén)所涉及的工作壓力的范圍很寬，因此任何一種類(lèi)型的真空泵都不可能適用于所有的工作壓力范圍，只能根據(jù)不同的工作壓力范圍和不同的工作要求，使用不同類(lèi)型的真空泵。為了使用方便和各種真空工藝過(guò)程的需要，有時(shí)將各種真空泵按其性能要求組合起來(lái)，以機(jī)組型式應(yīng)用。
 

　　等離子清洗機(jī)真空泵操作方法：
 

　　1、開(kāi)車(chē)前的檢查：
 

　　(1)手動(dòng)盤(pán)動(dòng)前級(jí)水環(huán)泵、中間羅茨泵、主羅茨泵聯(lián)軸器，檢查聯(lián)軸器是否有卡的現(xiàn)象。
 

　　(2)檢查各泵潤(rùn)滑油是否在標(biāo)準(zhǔn)油位線(xiàn)上，如不足，立即加油。
 

　　2、開(kāi)車(chē)及運(yùn)行
 

　　(1)合上真空泵控制柜空氣開(kāi)關(guān)。
 

　　(2)打開(kāi)前級(jí)水環(huán)泵、中間羅茨泵、主羅茨泵冷卻水控制閥門(mén)。
 

　　(3)打開(kāi)前級(jí)水環(huán)泵工作液進(jìn)水閥門(mén)。
 

　　(4)觀察真空循環(huán)水罐玻璃管液位計(jì)水位，水位必須高于前級(jí)水環(huán)泵吸氣口。不足，則打開(kāi)真空循環(huán)水罐冷卻水進(jìn)水閥門(mén)，向罐內(nèi)補(bǔ)水。打開(kāi)前級(jí)水環(huán)泵吸氣口上四分銅球閥，檢查水環(huán)泵泵腔內(nèi)是否充滿(mǎn)水，水流出說(shuō)明泵腔內(nèi)水已滿(mǎn)。
 

　　(5)將真空泵控制柜上主泵啟動(dòng)/停止旋鈕，旋轉(zhuǎn)到開(kāi)的位置。
 

　　(6)打開(kāi)水環(huán)泵吸氣口上黑色球閥，按下前級(jí)水環(huán)泵啟動(dòng)按鈕，水環(huán)泵開(kāi)始運(yùn)轉(zhuǎn)開(kāi)始對(duì)系統(tǒng)抽氣拉真空。
 

　　(7)電接點(diǎn)壓力表黑色指針顯示真空度達(dá)到到-0.083MPa，中間羅茨泵自動(dòng)啟動(dòng)，約三分鐘后延時(shí)主羅茨泵啟動(dòng)，整個(gè)機(jī)組開(kāi)始對(duì)系統(tǒng)抽氣拉真空。