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KLA Zeta™-388光學(xué)輪廓儀提供3D量測和成像功能，與集成防震臺和晶圓操作系統(tǒng)結(jié)合，可實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)測量。該系統(tǒng)采用ZDot™ 技術(shù)，可同時(shí)收集高分辨率3D形貌信息和樣品表面真彩色圖像。Zeta-388支持研發(fā)和生產(chǎn)環(huán)境，具有多模光學(xué)器件、易于使用的軟件、低擁有成本和SECS/GEM通信。

KLA Zeta™-300光學(xué)輪廓儀可提供3D 量測和成像功能，與集成式防震臺和靈活的配置相結(jié)合，可以處理更大的樣品。該系統(tǒng)采用ZDot™ 技術(shù)，可同時(shí)收集高分辨率3D形貌信息和樣品表面真彩色圖像。Zeta-300支持研發(fā)和生產(chǎn)環(huán)境，具有多模光學(xué)組件、易于使用的軟件和低擁有成本。

全新的KLA Zeta™-Solar光學(xué)輪廓儀專為滿足優(yōu)良金屬化工藝中對于細(xì)柵線、接觸墊和主柵線的測量需求而設(shè)計(jì)。更為優(yōu)良的3D 成像技術(shù)，以及最大可容納230mm x 230mm 規(guī)格太陽能電池片的 XY 載臺，使得 Zeta-Solar 成為太陽能工藝研發(fā)和制程控制的理想專用量測機(jī)臺。

KLA Zeta™-20光學(xué)輪廓儀是一個(gè)高度集成的光學(xué)輪廓顯微鏡，可在緊湊、耐用的包裝下提供3D量測和成像功能。該系統(tǒng)采用ZDot™ 技術(shù)，可同時(shí)收集高分辨率3D形貌信息和樣品表面真彩色圖像。Zeta-20 3D顯微鏡支持研發(fā)和生產(chǎn)環(huán)境，具有多模光學(xué)器件、易于使用的軟件和性價(jià)比高等優(yōu)勢。Zeta-20HR 提供專業(yè)的太陽能電池量測解決方案。

KLA Filmetrics® Profilm3D® 光學(xué)輪廓儀和 Profilm3D-200 光學(xué)輪廓儀經(jīng)濟(jì)實(shí)惠，是一套非接觸式基于白光干涉法的3D表面形貌測量系統(tǒng)。新一代的白光干涉儀擁有新的成像模式，性能和價(jià)值得到了大幅提升。Profilm3D 系列通過簡單、靈活的程式設(shè)置測量納米級至毫米級表面，可進(jìn)行單次掃描或在多個(gè)點(diǎn)位自動(dòng)測量，來支持研發(fā)和生產(chǎn)環(huán)境。