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AT810 經濟性原子層沉積設備是小占地面積臺式系統。采用半導體級金屬密封管路以及兼容高溫的快速脈沖原子層沉積(ALD)閥。用于集成惰性氣體吹掃的超快速質量流量控制器(MFC)。6 英寸圓形卡盤(最大適配 7 英寸方形),可針對更小尺寸或其他形狀(高 11 毫米)定制。
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