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  • AT-410原子層沉積系統(tǒng)
    AT-410原子層沉積系統(tǒng)

    AT-400原子層沉積系統(tǒng)高縱橫比沉積,具有良好的共形性;曝光控制,用于在 3D 結構上實現(xiàn)所需的共形性;預置有經驗證過的 3D 和 2D 沉積的優(yōu)化配方;簡單便捷的系統(tǒng)維護及安全聯(lián)鎖;目前市面上占地小,可兼容各類潔凈室要求的系統(tǒng);

    更新時間:2024-06-17型號:AT-410瀏覽量:2115
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