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  • Toho FLX-2320-S薄膜應力測量系統
    Toho FLX-2320-S薄膜應力測量系統

    薄膜應力測量系統：在硅片等基板上附膜時，由于基板和薄膜的物理定數有異，產生應力，進而引起基板變形。由涂抹均勻的薄膜引起的變形的表現為基板的翹曲，而薄膜應力測量裝置FLX系列可從這個翹曲（曲率半徑）的變化量測量其應力。

    更新時間：2025-05-09型號：Toho FLX-2320-S瀏覽量：9715
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