勻膠旋涂儀工作原理是高速旋轉基片，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上，勻膠機常用于各種溶膠凝膠（Sol-Gel）實驗中的薄膜制作，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數而不同，也和旋轉速度及時間有關。可以設定多達20個程序段來存儲不同材料的制備過程，每個程序段都能設定51步速度改變，當前參數具斷電保護功能。
勻膠旋涂儀具有速度精度高、轉速穩(wěn)定、旋轉加速度可控、勻膠過程多段程序控制等特點。主要用于微電子、半導體、太陽能電池、新能源、生物材料、光學器件等領域的表面涂膜工藝，例如各類納米薄膜材料、光阻涂層、生物功能涂層的制備。
勻膠旋涂儀產品特點介紹：
★可更換陽極氧化鋁加熱轉盤，標準尺寸Φ10，Φ25，Φ50三種規(guī)格可選；
★HDPE高分子內腔，熱幅射式蓋子，鈑金烤漆外殼，結構緊湊，美觀大方；
★200W發(fā)熱部件，加熱速度快，表面熱均勻性高，PID高精度控溫系統；
★采用間接式傳動方式，可靠的隔熱設計，避免加熱部件對電機性能影響；
★7寸全彩觸屏操作，自帶觸屏筆，圖形化人機界面，簡單易用；
★帶一路自動點膠端口，可升級自動點膠功能，進一步提高實驗重復性；
★自帶排廢功能，便于廢膠的收集處理；
★可嵌入式設計安裝，降低高度放置在手套箱內操作。
勻膠旋涂儀應用：在高速旋轉的基片上，滴注各類膠液，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數而不同，也和旋轉速度及時間有關。
勻膠旋涂儀能夠對轉盤進行控溫，基片接觸式加熱，以實現在不同溫度下的控溫勻膠處理操作。設備采用觸屏式操作，鈑金烤漆外殼。采用發(fā)明的旋轉熱盤控溫結構系統，控溫精度高、重復性好，技術先進，設備性能優(yōu)良。勻膠旋涂儀可以進行邊加熱邊旋轉的勻膠操作，對提高膠體流動性，加速溶劑揮發(fā)，勻膠后直接烤膠等操作提供了便利的解決方案。
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