勻膠顯影系統(tǒng)具有可編程閥，它可以使單注射器試劑滴膠按照蝕刻、顯影和清洗應(yīng)用的要求重復(fù)進(jìn)行，如沖洗（通常是去離子水或溶劑），然后干燥（通常是氮?dú)猓┑群蟮奶幚聿襟E。采用此序貫閥門技術(shù)的晶圓片和管道在*干燥的環(huán)境中開(kāi)通和關(guān)閉處理過(guò)程。隔離和獨(dú)立的給水器可處在靜態(tài)的位置還可以蓋內(nèi)調(diào)節(jié)。蝕刻/顯影/清洗全套系統(tǒng)還有可選擇的動(dòng)態(tài)線性或徑向滴膠的特性。勻膠顯影系統(tǒng)是在半導(dǎo)體集成電路生產(chǎn)線中用于對(duì)基片進(jìn)行涂膠、顯影工藝的關(guān)鍵設(shè)備。
　　勻膠顯影系統(tǒng)主要用于光刻工藝前后的勻膠與顯影步驟，是微納加工的重要組成部分。勻膠顯影系統(tǒng)典型的生產(chǎn)工藝流程為：成膜工藝（氧化/CVD:LPCVD PECVD/PVD:濺射/電鍍/摻雜：擴(kuò)散 注入 退火）→光刻圖形（旋涂/光刻/顯影）→干法/濕法/ 刻蝕（濕法刻蝕/硅刻蝕/SiO刻蝕/去膠清洗/金屬刻蝕/金屬剝離/RCA清洗）。
　　勻膠顯影系統(tǒng)特性優(yōu)點(diǎn)：
　　1.主機(jī)在SC100-SE勻膠機(jī)上升級(jí)，增加耐腐蝕高分子材料防濺式罩蓋
　　2.全程序編輯功能，更方便的智能化操作，更好的顯影/清洗效果
　　3.可實(shí)現(xiàn)多獨(dú)立四路噴液用于顯影/清洗工作，或進(jìn)行氮?dú)獯蹈?br />　　4.控制器可實(shí)現(xiàn)程序自動(dòng)控制噴液或進(jìn)行手動(dòng)操作，使用更加方便
　　5.顯影系統(tǒng)可進(jìn)行噴霧式、柱流式多種選擇，視要求進(jìn)行配置
　　6.提供客戶定制化的顯影系統(tǒng)配置和工裝設(shè)計(jì)
　　7.高可靠性和重復(fù)性，高轉(zhuǎn)速精度和更高轉(zhuǎn)速可選
　　8.可添加去邊膠和背膠清洗功能
　　勻膠顯影系統(tǒng)設(shè)備適應(yīng)于半導(dǎo)體、化工材料、硅片、晶片、基片、導(dǎo)電玻璃等工藝，制版的表面顯影。一般涂膠顯影機(jī)由動(dòng)力系統(tǒng)、顯影液槽及噴液管、水洗槽、擠壓 (水)輥、涂膠槽等部分組成。