Tergeo等離子清洗機(jī)是在真空的腔體里，通過(guò)射頻(RF)電源在一定的壓力情況下產(chǎn)生高能量的無(wú)序等離子體，通過(guò)等離子體轟擊被清洗產(chǎn)品表面，以達(dá)到清洗目的的一種設(shè)備。其工作原理主要基于等離子體的物理和化學(xué)特性，具體過(guò)程如下：
 

　　1.等離子體的產(chǎn)生：通常采用射頻(RF)或微波(MW)等高頻電源，在低氣壓環(huán)境下(通常是真空或接近真空狀態(tài))，使氣體分子被電離。當(dāng)電源施加到氣體上時(shí)，電場(chǎng)加速氣體中的自由電子，這些高速電子與氣體分子碰撞，將氣體分子分解為正離子和電子，同時(shí)產(chǎn)生大量的自由基、紫外線等活性粒子，從而形成等離子體。這種等離子體由帶電粒子(正離子和電子)、中性粒子(原子、分子)以及自由基等組成，整體呈電中性。
 

　　2.清洗過(guò)程
 

　　-物理作用：等離子體中的離子、電子和活性粒子具有較高的能量，它們會(huì)轟擊被清洗物體的表面。這些高能粒子的撞擊可以有效地去除表面的污染物，如灰塵、油污、氧化物等。例如，對(duì)于一些附著在物體表面的微小顆粒，離子的轟擊就像“炮彈”一樣將其從表面擊落，實(shí)現(xiàn)物理清潔。
 

　　-化學(xué)反應(yīng)：等離子體中的自由基和活性粒子具有很強(qiáng)的化學(xué)活性。它們可以與物體表面的污染物發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，將污染物分解為揮發(fā)性物質(zhì)，從而實(shí)現(xiàn)化學(xué)清洗。例如，在氧氣等離子體中，氧自由基可以與有機(jī)物表面的氫原子結(jié)合，生成水和二氧化碳等揮發(fā)性物質(zhì)，從而達(dá)到去除有機(jī)物的目的。同時(shí)，等離子體還可以對(duì)物體表面進(jìn)行改性，如引入新的官能團(tuán)，改變表面的親水性或疏水性等。
 

　　Tergeo等離子清洗機(jī)的測(cè)定步驟：
 

　　-直接觀察法：通過(guò)肉眼觀察處理后的樣品表面，判斷處理效果。若表面無(wú)明顯損傷、顏色變化不大，說(shuō)明處理效果較好，還可觀察表面是否殘留未分解的物質(zhì)，如塵埃、有機(jī)物等。
 

　　-表面粗糙度檢測(cè)：測(cè)量處理前后的表面粗糙度，了解對(duì)表面形貌的影響。一般來(lái)說(shuō)，表面粗糙度越小，說(shuō)明處理后表面越平整，有利于提高后續(xù)工藝的附著力和穩(wěn)定性。
 

　　-表面能檢測(cè)：采用接觸角測(cè)量?jī)x測(cè)定表面能，通過(guò)測(cè)量液體在固體表面的潤(rùn)濕角來(lái)計(jì)算表面能。表面能越高，表明表面的潤(rùn)濕性能越好。
 

　　-微觀結(jié)構(gòu)觀察：利用高分辨率掃描電子顯微鏡或透射電子顯微鏡，觀察表面是否出現(xiàn)明顯劃痕、凹凸不平等現(xiàn)象，以及表面分子結(jié)構(gòu)、晶格結(jié)構(gòu)的變化等信息，進(jìn)一步確認(rèn)處理后的表面質(zhì)量和效果。
 

　　-物理性能測(cè)試：測(cè)試處理后表面的硬度、韌性、耐磨性等物理性能，了解等離子清洗機(jī)對(duì)表面性能的影響程度，從而評(píng)估其處理效果。