Tergeo 等離子體系統-一種用于研發的等離子體蝕刻和清洗的經濟高效的多功能解決方案。通過全自動系統控制確保一致、可重復的結果，Tergeo 系統可以產生各種等離子體，包括氧氣、氬氣、環境空氣、氮氣、氫氣、SF6、水蒸氣等，以有效去除碳氫化合物和無機表面污染物。其先進的功能不僅可以清潔和活化表面，還可以增強粘合強度，提高表面能，并使樣品親水，使其成為精確表面制備和改性的理想選擇

Tergeo桌面等離子清洗機的規格和特點：

1. RF 功率系統

• 頻率：13.56 MHz -在同等功率下，比低成本 kHz 等離子系統效率高 10 倍以上。

• 功率輸出：可選擇 0-75 W 或 0-150 W，可通過配方設置以 1 W 的增量進行調節。

• 阻抗匹配：全自動優化功率傳輸。

2.等離子體操作模式

• 模式：

• 連續模式：傳統的穩態等離子體操作。

• 脈沖模式：功能，可從 100%（連續）到小于 1%的可調脈沖占空比，將等離子體強度動態范圍提高 100 倍。

• 清潔技術：

• 高速直接模式：電容耦合放電的積極清潔。

• 溫和的下游模式：感應耦合放電更微妙的清潔應用。

3.過程監測和控制

• 等離子體強度監測：在蝕刻、灰化和清潔過程中進行實時定量測量，以確保工藝穩定性和可重復性。

• 控制系統：

• 基于預設配方的全自動操作（可定制）。

• 需要時可手動操作。

4.氣體輸送和腔室設計

• 工藝氣體：與氧氣、氬氣、氫氣、氮氣、CF 氣體、SF 氣體、水蒸氣等兼容。

• 氣體輸送：

• 最多三個通道，帶質量流量控制器（MFC）調節氣體輸入。

• 用于大氣壓力排氣的附加排氣口。

• 滅菌室：

• 由石英構成。

• 內徑：4.3 英寸（160 毫米）。深度：11 英寸（280 毫米）。

5.真空系統

• 壓力傳感器：耐腐蝕鉑絲皮拉尼壓力計。

• 真空泵選項：

• 優質干式渦旋泵額定用于氧氣應用。

• 油泵內充有惰性 PFPE 泵油，與氧氣相容。

6.用戶界面和遠程支持

• 接口選項：

• 嵌入式 7 英寸 LCD 工業觸摸屏。

• 基于 Windows PC 的界面。

• 產品特點：

• 全自動操作，集成配方控制。

• 運行日志存儲以進行進程監控。

• 遠程支持：

• 自診斷功能和日志文件存儲，用于故障排除。

• 必要時可從美國總部進行遠程控制訪問。

7.物理和電氣規格

• 尺寸：450 mm（寬）× 250 mm（高）× 430 mm（深）。

• 重量：約 45 磅（20 公斤）。

• 電氣輸入：90-230 V AC，單相，10 A。

8.認證

• UL 61010-1：2012 R4.16

• CAN/CSA-C22.2 61010-1-12+GI1+GI2（R2017）

• IEC 61010-1：2010

• CE 和 TüV Rheinland 品牌

• NRTL 兼容

Tergeo桌面等離子清洗機典型應用：

• 引線鍵合、倒裝芯片封裝、器件封裝和解封裝

• SEM/TEM 樣品清洗用于去除碳污染物和減少氧化物

• 生物醫用涂層前的表面處理及提高醫用植入物的親水性

• 環氧樹脂粘合前的光學、玻璃和基板清潔

• 光致抗蝕劑灰化、除渣和硅晶片清洗

• PDMS、微流體、載玻片和芯片實驗室

• 改善金屬對金屬或復合材料的粘合

• 改善塑料、聚合物和復合材料的粘合