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產品中心 / products 您的位置:網站首頁 > 產品中心 > KLA/科磊 > 薄膜厚度測量儀 > KLA Filmetrics F50薄膜厚度測量儀

薄膜厚度測量儀

簡要描述:KLA Filmetrics F50薄膜厚度測量儀采用自動化R-Theta平臺,支持標準和定制化樣品夾盤,最大樣品直徑達450毫米,能高效測繪薄膜厚度。該設備適用于多種厚度和類型的薄膜,包括薄至5納米或厚至250微米的薄膜,并可根據不同需求選擇不同波長范圍的型號。

產品型號: KLA Filmetrics F50

所屬分類:薄膜厚度測量儀

更新時間:2025-05-09

廠商性質:生產廠家

詳情介紹

自動化薄膜測繪

KLA Filmetrics F50薄膜厚度測量儀的產品能以每秒測繪兩個點的速度快速的測繪薄膜厚度。一個電動R-Theta 平臺可接受標準和客制化夾盤,樣品直徑可達450毫米。(耐用的平臺在我們的量產系統能夠執行數百萬次的量測!)

測繪圖案可以是極座標、矩形或線性的,您也可以創造自己的測繪方法,并且不受測量點數量的限制。內建數十種預定義的測繪圖案。

不同的KLA Filmetrics F50薄膜厚度測量儀器是根據波長范圍來加以區分的。 標準的 F50是受歡迎的產品。 一般較短的波長 (例如, F50-UV) 可用于測量較薄的薄膜,而較長的波長則可以用來測量更厚、更不平整以及更不透明的薄膜。

包含的內容:

  • 集成光譜儀/光源裝置

  • 光纖電纜

  • 4", 6" and 200mm 參考晶圓

  • TS-SiO2-4-7200 厚度標準

  • BK7 參考材料

  • 整平濾波器 (用于高反射基板)

  • 真空泵

  • 備用燈

型號規格

型號 厚度范圍 波長范圍
F50 20nm-70μm 380-1050nm
F50-UV 5nm-40μm 190-1100nm
F50-NIR 100nm-250μm 950-1700nm
F50-EXR 20nm-250μm 380-1700nm
F50-UVX 5nm-250μm 190-1700nm
F50-XT 0.2μm-450μm 1440-1690nm
F50-s980 4μm-1mm 960-1000nm
F50-s1310 7μm-2mm 1280-1340nm
F50-s1550 10μm-3mm 1520-1580nm

 

 

 

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