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Tergeo-Plus桌面等離子清洗機(jī)

簡(jiǎn)要描述:Tergeo-Plus桌面等離子清洗機(jī)和蝕刻機(jī)專為研究、開(kāi)發(fā)和小批量生產(chǎn)而量身定制。Tergeo系列桌面等離子清洗機(jī)在表面清洗、活化、有機(jī)污染物去除、粘合增強(qiáng)和光刻膠灰化方面表現(xiàn)出色。其精度和多功能性使其成為納米技術(shù)、材料科學(xué)、微加工和故障分析應(yīng)用的理想選擇。憑借免維護(hù)設(shè)計(jì)和低擁有成本,Tergeo 系統(tǒng)提供了長(zhǎng)期價(jià)值。

產(chǎn)品型號(hào):

所屬分類:Tergeo-Plus桌面等離子清洗機(jī)

更新時(shí)間:2025-06-24

廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家

詳情介紹


Tergeo-Plus桌面等離子清洗機(jī)

Tergeo-Plus桌面等離子清洗機(jī)和 Tergeo 等離子體清洗機(jī)之間的區(qū)別是樣品室和射頻功率的大小。樣品室內(nèi)徑從 Tergeo 的 4.3″/110 mm 增加到 Tergeo-plus 的 6.3″/160 mm。樣品室的深度相同,例如 11″/280 mm。

Tergeo-Plus桌面等離子清洗機(jī)的規(guī)格和特點(diǎn):

Tergeo-Plus桌面等離子清洗機(jī)的應(yīng)用與標(biāo)準(zhǔn) Tergeo 等離子清洗機(jī)相似,不同之處在于它可以容納更大的樣品。以下是典型應(yīng)用的列表:

  • 引線鍵合、倒裝芯片封裝、器件封裝和解封裝

  • SEM/TEM 樣品清洗用于去除碳污染物和減少氧化物

  • 生物醫(yī)用涂層前的表面處理與提高醫(yī)用植入物親水性

  • 環(huán)氧樹(shù)脂粘合前的光學(xué)、玻璃和基板清潔

  • 光刻膠灰化、除渣和硅片清洗

  • PDMS、微流體、載玻片和芯片實(shí)驗(yàn)室

  • 改善金屬與金屬或復(fù)合材料的粘合

  • 改善塑料、聚合物和復(fù)合材料的粘合

Tergeo-Plus桌面等離子清洗機(jī)



Tergeo-Plus桌面等離子清洗機(jī)產(chǎn)品特點(diǎn)

  • 德國(guó)萊茵 TüV 認(rèn)證并確認(rèn)符合 UL、IEC 和 CSA 61010-1 安全標(biāo)準(zhǔn)。NRTL 兼容!

  • 大型樣品室(ID:160 mm,L280 mm)。足以容納一個(gè) 4 英寸晶圓舟和一個(gè) 6 英寸晶圓。

  • 清洗模式:直接模式和下游模式。雙等離子體源,適用于兩種等離子體清洗模式。用于高速蝕刻和表面改性的直接模式等離子體清洗;用于溫和去除表面污染的遠(yuǎn)程/下游模式等離子體清洗,例如 SEM/TEM 樣品清洗。

  • 連續(xù)和脈沖等離子體。脈沖比可以從 100%(連續(xù))變?yōu)樾∮?1%。Tergeo 等離子體系統(tǒng)不僅以 1 瓦的間隔調(diào)節(jié)射頻功率瓦數(shù),而且還能產(chǎn)生連續(xù)和脈沖等離子體。使等離子體強(qiáng)度改變幾個(gè)數(shù)量級(jí)以上。

  • 操作方式:自動(dòng)執(zhí)行配方;自動(dòng)執(zhí)行作業(yè)順序;手動(dòng)操作。

  • 等離子體傳感器:雙等離子體強(qiáng)度傳感器,監(jiān)測(cè)原位等離子體源和遠(yuǎn)程等離子體源。等離子體強(qiáng)度實(shí)時(shí)顯示在 LCD 觸摸屏上。

  • 先進(jìn)的過(guò)程控制功能:壓力傳感器、溫度傳感器、MFC 中的氣體流量計(jì)、雙等離子體強(qiáng)度傳感器、自動(dòng)阻抗匹配。

  • 滅菌室材料:鋁法蘭和厚壁高純度石英管增強(qiáng)了耐化學(xué)性,減少了派熱克斯玻璃中的堿性雜質(zhì)(Ca、K、Na)。

  • 樣品保持器:2mm 厚高純石英板

  • 腔室尺寸:內(nèi)徑:160 mm;外徑:170 mm;深度:280 mm

  • 射頻電極:與其他等離子體清潔器中的內(nèi)部金屬電極相比,外部射頻電極和天線設(shè)計(jì)減少了金屬濺射。

  • 射頻電源:13.56MHz 高頻射頻電源,帶自動(dòng)阻抗匹配,用于原位等離子體源。射頻功率有三種選擇:13.56MHz 時(shí)的 150 瓦、300 瓦和 500 瓦。射頻功率可按 1 瓦間隔調(diào)節(jié)。13.56 MHz 射頻電源產(chǎn)生的等離子體密度比低效率的 KHz 電源高得多。

  • 氣體輸入:多達(dá)三個(gè) MFC 控制氣體輸入(0~ 100 sccm)。一個(gè)額外的端口用于通風(fēng)和吹掃。1/4 英寸世偉洛克壓縮接頭連接器。

  • 用戶界面:7 英寸電阻式觸摸屏,用手指觸摸,無(wú)需手寫(xiě)筆。

  • 配方和作業(yè)支持:共20個(gè)可定制的配方。作業(yè)順序中最多三個(gè)清潔步驟。

Tergeo-Plus桌面等離子清洗機(jī)



要求

  • 交流輸入:110 V ~ 230 V 通用交流電源支持

  • 泵口:NW/KF 25

  • 抽真空速度:2.0 cfm 或更高。

  • 真空泵的極限壓力:50 mTorr 或更低


Tergeo-Plus桌面等離子清洗機(jī)








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