從半導(dǎo)體制造到實(shí)現(xiàn)可穿戴技術(shù)所需的柔性電子產(chǎn)品，在任何需要用到導(dǎo)電薄膜的行業(yè)中，對方塊電阻的測量與監(jiān)控都至關(guān)重要。KLA Filmetrics R50系列四探針電阻測試儀擁有KLA方阻測量技術(shù)超過45年的創(chuàng)新積淀。自 1975 年推出電阻率計(jì)以來，KLA品牌已革新了導(dǎo)電層的方塊電阻和厚度測量技術(shù)。R50可對金屬層厚度、薄膜電阻、薄膜電阻率、薄膜電導(dǎo)和薄膜電導(dǎo)率進(jìn)行測繪。R54是方塊電阻測量的新一代升級(jí)款，它在保持 R50相同性能情況下提供遮光環(huán)境，能夠支持半導(dǎo)體和化合物半導(dǎo)體應(yīng)用。

KLA Filmetrics R50系列四探針電阻測試儀結(jié)合了KLA公司45年來在方塊電阻測量領(lǐng)域以及Filmetrics團(tuán)隊(duì)20年來在桌面式儀器和用戶界面方面的技術(shù)。

對于較薄的金屬和離子注入層，建議采用接觸式四探針(4PP)測量方法，對于較厚的金屬層和柔性或軟性的導(dǎo)電表面，建議采用非接觸式渦流(EC)測量方法。我們的技術(shù)能夠滿足各種測量需求，包括但不限于以下:

經(jīng)過優(yōu)化的Filmetrics R50能夠支持各種樣品的測量需求，可以使用矩形、線性、極坐標(biāo)和自定義配置等采樣點(diǎn)排列方式進(jìn)行測繪。
KLA Instruments™ R54系列在安裝不透光外殼的情況下，能夠提供R50所具有的測量性能，并新增了X-Y-θ全自動(dòng)載臺(tái)，用于半導(dǎo)體和化合物半導(dǎo)體的200mm或300mm晶圓檢測。