KLA NanoFlip納米壓痕儀配備高精度的XYZ移動馬達，以定位樣品進行測試，并配備翻轉機構，以定位樣品進行觀察成像。InView軟件標配一套包括多種測試協議的測試方法，KLA NanoFlip納米壓痕儀且支持用戶創建自己的測試方法。InForce 50作動器在真空和氣氛條件下表現同樣出色。InView 軟件可以記錄SEM或其它顯微鏡圖像，并與力學測試數據同步。革命性的FIB-to-Test技術容許將樣品傾斜90°，實現從FIB到壓痕測試的無縫轉換，而無需重新安裝樣品。

產品特色

• InForce 50作動器采用電容式位移傳感和電磁力驅動，且壓頭易于更換

• InQuest高速控制器電路，數據采集速率可達100kHz，時間常數最快為20µs

• XYZ運動系統實現樣品定位

• SEM視頻采集實現SEM圖像和力學測試數據同步

• 壓頭校準系統，集成在軟件中，可實現快速、準確的壓頭校準

• InView設備控制和數據處理軟件，與Windows^®10兼容，可選測試方法開發工具，實現用戶自定義實驗

產品應用

• 硬度和模量測試（基于Oliver-Pharr模型）

• 連續剛度測量

• 快速材料力學性能成像

• ISO 14577硬度測試

• 納米動態力學分析(DMA)

• 定量劃痕和磨損測試

適用行業

• 大學、科研實驗室和研究所

• 微柱和微球制造

• MEMS：微機電系統

• 材料制造（壓縮/拉伸/斷裂測試）

• 電池和組件制造