Tergeo-Pro桌面等離子清洗機(jī)未來(lái)將腔室直徑增加到 9″（230 mm）。腔室的深度增加到 13.4″（430 mm）。

Tergeo-Pro桌面等離子清洗機(jī)足夠大，可以容納 8 英寸晶圓。它也足夠大的一個(gè)或兩個(gè) 25/50 插槽 6“或 4"石英晶圓船。Tergeo-Pro桌面等離子清洗機(jī)可以具有 150 瓦、300 瓦或 500 瓦的射頻功率。射頻功率可以以 1 瓦的間隔進(jìn)行調(diào)整。射頻功率的頻率為 13.56MHz，這提供了比 KHz 射頻等離子體系統(tǒng)高得多的等離子體產(chǎn)生效率。Tergeo-Pro桌面等離子清洗機(jī)不僅可以調(diào)節(jié)射頻功率瓦數(shù)，還可以產(chǎn)生連續(xù)或脈沖等離子體。脈沖比可以從 100%調(diào)整到小于 1%。石英腔室壁結(jié)構(gòu)使外部電容耦合射頻電極設(shè)計(jì)成為可能，從而在整個(gè)腔室中產(chǎn)生更均勻的等離子體。

Tergeo-Pro桌面等離子清洗機(jī)規(guī)格和特點(diǎn)：

*Tergeo-Pro桌面等離子清洗機(jī)的應(yīng)用與較小的 Tergeo桌面等離子清洗機(jī)相似，不同之處在于它可以接受更大的樣品。以下是典型應(yīng)用的列表：

• 光致抗蝕劑灰化、除渣和硅晶片清洗

• 在引線鍵合、倒裝芯片封裝、PCB 封裝之前清潔芯片

• 生物醫(yī)用涂層前的表面處理及提高醫(yī)用植入物的親水性

• 環(huán)氧樹(shù)脂粘合前的光學(xué)、玻璃、光纖頭和基板清潔

• PDMS、微流體、載玻片和芯片實(shí)驗(yàn)室

• 改善金屬對(duì)金屬或復(fù)合材料的粘合

• 改善塑料、聚合物和復(fù)合材料的粘合

Tergeo-Pro桌面等離子清洗機(jī)的產(chǎn)品特點(diǎn)：

• 大樣品室（ID：9″/230 mm，深度：13.4″ /340 mm）。足以容納 8 英寸晶圓，一個(gè)或兩個(gè) 25/50 插槽 6″/4″石英晶圓舟。

• 等離子體放電方法：電容耦合等離子體放電與外部彎曲放電電極。

• 連續(xù)和脈沖等離子體。脈沖比可以從 100%（連續(xù)）變?yōu)樾∮?1%。Tergeo 等離子體系統(tǒng)不僅可以通過(guò) 1 瓦的間隔調(diào)整射頻功率，而且可以產(chǎn)生連續(xù)和脈沖等離子體。使等離子體強(qiáng)度改變幾個(gè)數(shù)量級(jí)以上。

• 操作方式：自動(dòng)配方執(zhí)行、自動(dòng)作業(yè)順序執(zhí)行、手動(dòng)操作。

• 等離子體傳感器：等離子體強(qiáng)度傳感器實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)等離子體狀態(tài)，并向用戶(hù)提供關(guān)于不同配方條件下等離子體強(qiáng)度的定量反饋。等離子體傳感器還可以監(jiān)測(cè)等離子體灰化過(guò)程的進(jìn)展并用作終點(diǎn)指示器。等離子體強(qiáng)度實(shí)時(shí)顯示在 LCD 觸摸屏上。

• 先進(jìn)的過(guò)程控制功能：壓力傳感器、溫度傳感器、MFC 氣體流量計(jì)、等離子體強(qiáng)度傳感器、自動(dòng)阻抗匹配。

• 滅菌室設(shè)計(jì)：鋁法蘭和厚壁高純度石英管增強(qiáng)了耐化學(xué)性，減少了派熱克斯玻璃中的堿性雜質(zhì)（Ca、K、Na）。

• 樣品保持器：4mm 厚高純石英板，尺寸：220 mm X 280 mm。

• 腔體尺寸：內(nèi)徑：9″/230 mm;外徑：9. 44 ″/240 mm;深度：13. 4 ″/340 mm

• RF 電極：圍繞石英管纏繞的外部電容耦合 RF 電極。外部射頻電極設(shè)計(jì)能夠?qū)崿F(xiàn)更大、更均勻的等離子體體積，并且還消除了與內(nèi)部金屬射頻電極設(shè)計(jì)相關(guān)的離子濺射和加熱問(wèn)題。

• 射頻電源：13.56MHz 高頻射頻電源，具有自動(dòng)阻抗匹配功能。射頻功率有三種選擇：13.56MHz 時(shí)的 150 瓦、300 瓦和 500 瓦。射頻功率可以以 1 瓦的間隔進(jìn)行調(diào)整。13.56 與低效率、低成本的 KHz 電源相比，MHz 射頻電源產(chǎn)生的等離子體密度要高得多。

• 氣體輸入：多達(dá)三個(gè) MFC 控制氣體輸入（0~ 100 sccm）。一個(gè)額外的端口用于通風(fēng)和吹掃。1/4 英寸世偉洛克壓縮接頭連接器。

• 用戶(hù)界面：7 英寸電阻式觸摸屏，用手指觸摸，無(wú)需手寫(xiě)筆。

• 食譜和工作支持：共有 20 個(gè)可定制的食譜。作業(yè)序列中最多三個(gè)清潔步驟

要求：

• 交流輸入：110 V ~ 230 V 通用交流電源支持

• 泵口：NW/KF 25

• 抽真空速度：3.5 cfm 或更高。

• 真空泵的極限壓力：50 mTorr 或更低