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SEMI-KLEEN UHV等離子體清洗機

簡要描述:關(guān)于SEMI-KLEEN UHV等離子體清洗機
SEMI-KLEEN 和 EM-KLEEN 系列遠程等離子體清洗機基于勞倫斯伯克利國家實驗室開發(fā)的高效電感耦合等離子體(ICP)放電技術(shù)。與傳統(tǒng) ICP 放電技術(shù)相比,我們的 Turbo Discharge™技術(shù)進一步提高了等離子體強度多達 3 倍。

產(chǎn)品型號:

所屬分類:SEMI-KLEEN UHV等離子體清洗機

更新時間:2025-06-24

廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家

詳情介紹


SEMI-KLEEN UHV等離子體清洗機是 SEMI-KLEEN 系列等離子體清潔器的特殊版本,用于超高真空(UHV)室和樣品清潔應(yīng)用。等離子體源主體由釬焊到不銹鋼凸緣的玻璃管構(gòu)成。所有的真空接頭都是玻璃-金屬釬焊或金屬-金屬接觸。在源體內(nèi)沒有使用聚合物密封。等離子體源的背面是 1/4 英寸的 VCR 連接器。前側(cè)法蘭為 CF2.75″(DN 40 CF)不銹鋼。

SEMI-KLEEN UHV等離子體清洗機

SEMI-KLEEN UHV等離子體清洗機有兩種控制氣體流量的方法:手動針閥或外部 MFC。SEMI-KLEEN 控制器可以驅(qū)動兩個外部 MFC 并自動混合兩種工藝氣體。如果使用外部 MFC 來控制氣體流速,則配方可以指定每個 MFC 的氣體流速。





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