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KLA Candela® 8420表面缺陷檢測系統

簡要描述:KLA Candela® 8420表面缺陷檢測系統它使用多通道檢測和基于規則的缺陷分類,對不透明、半透明和透明晶圓(如砷化鎵、磷化銦、鉭酸鋰、鈮酸鋰、玻璃、藍寶石和其他化合物半導體材料)提供微粒和劃痕檢測。 8420表面缺陷檢測系統采用了專有的OSA(光學表面分析儀)架構,可以同時測量散射強度、形貌變化、表面反射率和相位變化,從而對各種關鍵缺陷進行自動檢測與分類。

產品型號:

所屬分類:表面缺陷檢測系統

更新時間:2025-05-09

廠商性質:生產廠家

詳情介紹

KLA Candela® 8420表面缺陷檢測系統可以檢測不透明、半透明和透明晶圓(包括玻璃、單面拋光藍寶石、雙面拋光藍寶石)的表面缺陷和微粒;滑移線;砷化鎵和磷化銦的凹坑和凸起;表面haze map;以及鉭酸鋰、鈮酸鋰和其他先進材料的缺陷。KLA Candela® 8420表面缺陷檢測系統用于化合物半導體工藝控制(晶圓清潔、外延前后)。其先進的多通道設計提供了比單通道技術更高的靈敏度。CS20R配置的光學器件經過優化,可用于檢測化合物半導體材料,包括光敏薄膜。

 

KLA Candela® 8420表面缺陷檢測系統


功能

  • 檢測直徑達200毫米不透明、半透明和透明化合物半導體材料上的缺陷

  • 手動模式支持掃描不規則晶圓

    支持各種晶圓厚度

  • 適用于微粒、劃痕、凹坑、凸起和沾污等宏觀缺陷

 

KLA Candela® 8420表面缺陷檢測系統


應用案例

  • 襯底質量控制

  • 襯底供應商對比

  • 入廠晶圓質量控制(IQC)

  • 出廠晶圓質量控制(OQC)

  • CMP(化學機械拋光工藝)/拋光工藝控制

  • 晶圓清潔工藝控制

  • 外延工藝控制

  • 襯底與外延缺陷關聯

  • 外延反應器供應商的對比

  • 工藝機臺監控

KLA Candela® 8420表面缺陷檢測系統

行業

  • 包括垂直腔面發射激光器在內的光子學

  • LED

  • 通信(5G、激光雷達、傳感器)

  • 其他化合物半導體器件

選項

  • SECS-GEM

  • 信號燈塔

  • 金剛石劃線

  • 校準標準

  • 離線軟件

  • 光學字符識別(OCR)

  • CS20R配置用于檢測光敏薄膜

 

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