Model 800E 增強(qiáng)型半自動(dòng)紫外掩膜曝光機(jī)

簡要描述：Model 800E 增強(qiáng)型半自動(dòng)紫外掩膜曝光機(jī)由OAI設(shè)計(jì)與制造
在半導(dǎo)體行業(yè)，OAI 擁有 40 余年產(chǎn)品研發(fā)和制造經(jīng)驗(yàn)，以專為研發(fā)及半自動(dòng)生產(chǎn)設(shè)計(jì)的光刻設(shè)備，應(yīng)對(duì)動(dòng)態(tài)市場(chǎng)日益增長的挑戰(zhàn)。800E 型基于經(jīng)實(shí)踐驗(yàn)證的 OAI 模塊化平臺(tái)打造，是一套增強(qiáng)型、高性能、高分辨率光刻系統(tǒng)，在該價(jià)格段性能好。對(duì)準(zhǔn)器搭載 OAI 優(yōu)良光束光學(xué)技術(shù)，均勻性佳。

產(chǎn)品型號(hào)：

所屬分類：Model 800E 紫外掩膜曝光機(jī)

更新時(shí)間：2025-07-04

廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家

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Model 800E 增強(qiáng)型半自動(dòng)紫外掩膜曝光機(jī)

Model 800E 增強(qiáng)型半自動(dòng)紫外掩膜曝光機(jī)

在半導(dǎo)體行業(yè)，OAI 擁有 40 余年產(chǎn)品研發(fā)和制造經(jīng)驗(yàn)，以專為研發(fā)及半自動(dòng)生產(chǎn)設(shè)計(jì)的光刻設(shè)備，應(yīng)對(duì)動(dòng)態(tài)市場(chǎng)日益增長的挑戰(zhàn)。800E 型基于經(jīng)實(shí)踐驗(yàn)證的 OAI 模塊化平臺(tái)打造，是一套增強(qiáng)型、高性能、高分辨率光刻系統(tǒng)，在該價(jià)格段性價(jià)比高。對(duì)準(zhǔn)器搭載 OAI 優(yōu)良光束光學(xué)技術(shù)，良好均勻性。借助 OAI 精密光刻模塊可實(shí)現(xiàn)升級(jí)，800E 型成為實(shí)驗(yàn)室或現(xiàn)場(chǎng)適用的多功能工具。它采用 Windows 10 控制及配方存儲(chǔ)功能，還配備操縱桿控制的對(duì)準(zhǔn)和光學(xué)載臺(tái)，可配置非接觸式三點(diǎn)楔效應(yīng)校正及自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)功能。這些特性組合常見于更昂貴的掩模對(duì)準(zhǔn)器，而 800E 型以實(shí)惠價(jià)格即可提供。

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標(biāo)準(zhǔn)正面特性

配備雙 100 萬像素分辨率的千兆以太網(wǎng)（GIGE）CCD 相機(jī)
可處理最大 8 英寸見方的基板，掩模最大為 9 英寸 ×9 英寸
由帶配方存儲(chǔ)功能的 Windows 電腦控制
電動(dòng)操縱桿用于對(duì)準(zhǔn)和定位
曝光模式：真空、硬接觸、軟接觸和接近式
自動(dòng)楔效應(yīng)補(bǔ)償

標(biāo)準(zhǔn)背面特性

包含上述所有正面特性，另加：
額外配備 2 個(gè)相機(jī)（共 4 個(gè)）
數(shù)字變焦功能
電動(dòng)背面光學(xué)聚焦

標(biāo)準(zhǔn)背面特性

半自動(dòng)正面對(duì)準(zhǔn)背面對(duì)準(zhǔn)優(yōu)良光束光學(xué)系統(tǒng)2相機(jī)和4相機(jī)版本多種可選配置

Model 800E 增強(qiáng)型半自動(dòng)紫外掩膜曝光機(jī)